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该系统由前置器、双级罗茨真空泵、空冷器、真空泵、气液分离器、自动排水装置、冷 却水管路以及电气操作系统等组成。采用了双级罗茨真空的机组可以保证维持真空所需要的较大抽速，降低装机功耗以 及获得更高的真空度。
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| 地区 | 北京 |
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该系统由前置器、双级罗茨真空泵、空冷器、真空泵、气液分离器、自动排水装置、冷 却水管路以及电气操作系统等组成。采用了双级罗茨真空的机组可以保证维持真空所需要的较大抽速，降低装机功耗以 及获得更高的真空度。
