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生长台尺寸：φ100mm
控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动）
微波电源： MUEGGE 10KW 2.45GHz
真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
流量计：日本KOFLOC
H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）
腔体冷却方式：水冷
测温：红外测温仪300-1400℃
机台尺寸：1215mm（长）*1114mm（宽）*2000mm（高）
供电：380V 三相五线
能耗：16kw
| 诚信档案 |
  通过认证 |
| 会员 |
|
| 联系人 | 邹佳秀(女士) |
| 即时通讯 |
 |
| 电话 |  |
| 地区 | 四川 成都市 |
| 地址 | 成都市郫都区现代工业港数码二路2号102-6楼A区 |
生长台尺寸：φ100mm
控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动）
微波电源： MUEGGE 10KW 2.45GHz
真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
流量计：日本KOFLOC
H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）
腔体冷却方式：水冷
测温：红外测温仪300-1400℃
机台尺寸：1215mm（长）*1114mm（宽）*2000mm（高）
供电：380V 三相五线
能耗：16kw
