该系统由前置器、双级罗茨真空泵、空冷器、真空泵、气液分离器、自动排水装置、冷 却水管路以及电气操作系统等组成。采用了双级罗茨真空的机组可以保证维持真空所需要的较大抽速，降低装机功耗以 及获得更高的真空度。