臭氧作为一种强氧化剂，可以容易的将难溶于水的NO氧化成可溶于水的NO2、N2O3、N2O5等高价态氮氧化物。然后在洗涤塔内采用Na2S 和NaOH 等溶液进行吸收，最终将NOX转化为N2达到脱除的目的，NOX 的去除率高达95%。采用臭氧脱硝的影响因素主要包括摩尔比、反应温度、反应时间、吸收液性质、臭氧投加系统等。