生长台尺寸：φ100mm
      控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动）
      微波电源： MUEGGE 10KW 2.45GHz
      真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
      流量计：日本KOFLOC
H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）
      腔体冷却方式：水冷
      测温：红外测温仪300-1400℃
      机台尺寸：1215mm（长）*1114mm（宽）*2000mm（高）
      供电：380V 三相五线
      能耗：16kw